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北京燕东微电子科技有限公司8英寸集成电路研发产业化及封测平台建设项目职业病危害控制效果评价报告

日期:2020-06-19

职业卫生评价报告网上公示

建设单位

北京燕东微电子科技有限公司

地理位置

北京经济技术开发区B15M1地块

联系人

倪冬月

报告名称

北京燕东微电子科技有限公司8英寸集成电路研发产业化及封测平台建设项目职业病危害控制效果评价报告

项目简介

北京燕东微电子有限公司作为电控公司集成电路产业的主要承载平台,积累了多年经营集成电路产业的技术和管理经验。随着市场需求的变化,以及环保节能要求的提高,提升技术水平,扩充产品门类,将现有6英寸线升级为8英寸生产线、实现产业升级势在必行。因此,北京燕东微电子科技有限公司投资建设8英寸集成电路研发产业化及封测平台建设项目。

本项目晶圆规划月产5万片(折合25次光刻),主要生产工序包括:清洗、氧化/扩散、CVD沉积、光刻、去胶、干法刻蚀、CMP抛光、湿法刻蚀、离子注入、背面研磨、检测。产品经过以上主要工序多次反复,形成电路图形。

现场调查人员

魏胜桃、徐露露

现场调查时间

202056~7

建设单位陪同人

张欢

采样、检测人员

李龙宇、姜萍

采样、检测时间

202068~10日、813~15日、127

建设单位陪同人

张欢

建设项目存在的主要职业病危害因素及检测结果

本项目存在的主要职业病危害因素为其他粉尘、氯化氢及盐酸、磷化氢、氨、氟化氢、硝酸、砷化氢、三氟化硼、砷及其化合物、乙醇、氟化物、一氧化碳、二氧化碳、异丙醇、过氧化氢、乙醇胺、硫酸、磷酸、臭氧、氯、溴化氢、苯、萘、丙酮、四甲基氢氧化铵、乙二醇、六氟化硫、乙酸、氮氧化物、氢氧化钠、硫化氢、柴油、高频电磁场、噪声、紫外辐射和X射线。

评价结论与建议

本项目属于《建设项目职业病危害风险分类管理目录(2012版)》的规定中“计算机、通信和其他电子设备制造业”行业,生产过程中产生的职业病危害因素磷化氢、氨、氟化氢、砷及其无机化合物、氟化物、一氧化碳、氯、苯、硫化氢属于《高毒物品目录》所列职业病危害因素,且接触职业病危害因素人数较多,经综合分析,企业应按照职业病危害严重的建设项目进行管理。经综合分析,企业应按照职业病危害较重的建设项目进行管理。

通过本报告的综合分析,本项目基本落实了职业病危害防护设施,符合国家和地方对职业病防治方面法律、法规、标准的要求;预测在正常生产过程中,企业在采取控制效果评价报告所提补充措施和建议的情况下,能够符合国家和地方对职业病防治方面法律、法规、标准的要求。

技术审查专家组评审意见

专家组同意通过本评价报告,评价报告修改后经专家组组长复核后留档备查。